SPSresearch是一个紧凑的台式非接触电学表征工具，用于离线生产控制或研发，为先进材料研发和QA/QC检查的高灵敏度、高分辨率表面光电压谱测量仪器，在稳态或短脉冲激励下，在 的注入范围内测量样品的表面光电压（SPV），并在 的波长范围内连续扫描。这使得任何光活性样品的真正光谱测量能够以一种可靠的方式进行。自动的样品识别和参数设置使其能够轻松地适应各种不同的样品，包括外延层和经过各种加工步骤的晶圆，从原生材料到成品器件。

SPSresearch特征：

• 灵敏度：达到μV 灵敏度和高达7个数量级的信号分辨率

• 测量速度：1mm分辨率150mm晶圆，＜5分钟/点

• 时间分辨率：10 ns ~100 ms

• 光学探头：激光驱动光源，强度可调，输出波长在200nm到3000nm之间。谱宽< 10 nm。

• 可靠性：台式仪器与内置单色仪的高可靠性和正常运行时间> 99%

配置选项：

• 脉冲宽度和高度调制

• 集成加热台(20–250 °C)

• 光斑尺寸调节

• 偏置光

• 电阻率测量(wafers)

• 参考晶圆(Si)

技术规格：